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ICS 23.160 J 78 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 28786—2012 真空技术 真空镀膜层结合强度测量方法 胶带粘贴法 Vacuum technologyMethods of bonding strength measurement for vacuum coating film-Measuring adhesion by tape test 2012-11-05发布 2013-03-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T28786—2012 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。 本标准负责起草单位:东莞劲胜精密组件股份有限公司。 本标准参加起草单位:合肥工业大学、成都南光机器有限公司、安徽皖仪科技股份有限公司、沈阳真 空技术研究所。 本标准主要起草人:王长明、张学章、欧胤、胡冰、王旭迪、胡焕林、彭宏、靳毅、黄文平、刘磊、李春影、 王玲玲。 GB/T28786—2012 真空技术 真空镀膜层结合强度测量方法 胶带粘贴法 1范围 本标准规定了用胶带粘贴检测真空镀膜膜层结合强度的测试方法,对试验工具、样本的采集要求和 步骤、结果评估与评定等内容作了规定,适用于膜层与塑料基片之间的结合强度测试。 本标准适用于在10-4Pa~10Pa的压力范围内,用蒸发、溅射、离子镀等真空镀膜方式在聚甲基丙 烯酸甲酯(PMMA)、聚对苯二甲酸乙二醇脂(PET)和聚碳酸酯(PC)等塑料基片上制备金属膜层和非金 属膜层,也适用于其他真空镀膜方法制备的膜层。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T2547—2008塑料取样方法 GB/T2918—1998塑料试样状态调节和试验的标准环境(ISO291:1997) GB/T3163—2007 真空技术术语(ISO3529:1981) IEC60454-2:2007 电工用压敏粘带第2部分:试验方法(Pressure-sensitiveadhesivetapesfor electrical purposes—Part 2:Methods of test) 3术语和定义 GB/T3163一2007界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 真空镀膜 vacuum coating 真空环境下,在基片上制取膜层的一种方法。 3.2 基片substrate 膜层承受体。 3.3 膜层样本 coatedsample 已制备的真空镀膜膜层测试样品或产品。 3. 4 真空蒸镀 度 vacuum evaporation coating 使膜层材料蒸发到基片上的真空镀膜过程。 3.5 真空溅射 vacuum sputtering 真空环境下,情性气体离子从靶表面轰击出原子(分子)或原子团在基片上成膜的过程。 1 GB/T28786—2012 3.6 离子镀ionplating 真空环境下,利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离,在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用 的同时,将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的过程。 3.7 膜层结合强度 bonding strengthof coatedfilm 真空镀膜的膜层和基片之间的附着力。 3.8 胶带粘贴法 measuring adhesion by tape test 通过在试样的测试区域以网格图形切割膜层穿透至基片,利用压敏胶带粘贴剥离膜层,以膜层脱落 程度定性判别结合强度的一种测试方法。 3.9 重复性 repeatability 指在相同测量条件下,对同一被测量对象进行连续多次测量所得结果之间的一致性。 3. 10 再现性 reproducibility 又称复现性。指在改变了测量条件下,同一被测量对象的测量结果之间的一致性。 4试验工具 4.1切割工具 4.1.1一般要求 确保所使用的切割工具符合4.1.2和4.1.3的规定。 在所有情形下优先选用单刃切割工具。 4.1.2和4.1.3中规定的工具适用于手工操作,这是较常用的方法,刀具也可以安装在切割线条更 均匀的电动驱动装置上。 4.1.2单刃切割工具 单刃切割工具的刀刃为20~30°,刀刃厚度为0.43mm士0.03mm,如图1a)所示。当刀尖磨损 0.1mm时,应将其重新研磨。 4.1.3多刃切割工具 多刃切割工具至少具有六个切割刀,刀刃间隔为1mm、2mm或3mm,见图1b)。 六刃的宽度为L,刀刃间隔为1mm时L为5mm,刀刃间隔为2mm时L为10mm,刀刃间隔为 3mm时L为15mm。 2 GB/T28786—2012 单位为毫米 1:5 20"--30° 0. 43± 0. 03 a) 单刃切割工具 $30 1:5 MMMMM 0. 05 1 10° 16 b) 多刃切割工具 说明: —表示六个切割刀刃的宽度。 b 表示所有的切割刀刃须落在同一水平面上; 表示切割方向。 当刀尖磨损0.1mm时重新研磨。 图1 切割工具 4.2导向与刀刃间隔工具 为了把间隔切割得正确,当用单刃切割工具时,需要一系列导向和刀刃间隔装置,如图2所示。 3
GB-T 28786-2012 真空技术 真空镀膜层结合强度测量方法 胶带粘贴法
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