ZHEJIANG MADET/ZZB 0310 —2018 I 前 言 本标准按照 GB/T 1.1 —2009给出的规则起草。 本标准由浙江省浙江制造品牌建设促进会提出并归口。 本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。 本标准主要起草 单位：浙江真空设备集团有限公司。 本标准参与起草单位：台州市计量技术研究院、台州市质量技术监督检测研究院、浙江杭真能源科 技股份公司（排名不分先后）。 本标准主要起草人：杨华飞、钟云会、陈岚、阮立、许涛、余子英、 罗根松、吕培先、朱东锋。 本标准由浙江省标准化研究院负责解释。 ZHEJIANG MADET/ZZB 0310 —2018 1 滑阀真空泵 1 范围 本标准规定了滑阀真空泵的术语和定义、型式与基本参数、 基本要求 、技术要求、试验方法、检验 规则、标牌、标志、包装、运输 和贮存、质量承诺。 本标准适用于单级、双级滑阀真空泵（以下简称泵）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注日期的引用文件， 仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标 志 GB/T 1032—2012 三相异步电动机试验方法 GB/T 3163 真空技术 术语 GB/T 3241—2010 电声学 倍频程和分数倍频程滤波器 GB/T 3785.1—2010 电声学 声级计 第1部分：规范 GB/T 6070 真空技术 法兰尺寸 GB/T 9439—2010 灰铸铁件 GB/T 13306 标牌 GB/T 13384 机电产品包装通用技术条件 GB 14711—2013 中小型旋转电机通用安全要求 GB/T 15173—2010 电声学 声校准器 GB/T 19956.1—2005 容积真空泵性能测量方法 第1部分：体积流率的测量 GB/T 19956.2—2005 容积真空泵性能测量方法 第2部分：极限压力的测量 GB/T 21271—2007 真空技术 真空泵噪声测量 GB/T 33633—2017 真空技术 容积真空泵水蒸气容限的测量 JB/T 7673—2011 真空技术 真空设备型号编制方法 JB/T 8107—2011 容积真空泵 振动测量方法 SH/T 0528—1992 矿物油型真空泵油 3 术语和定义 GB/T 3163 中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 体积流率 volume flow rate 在理想状态下，单位时间内流经泵入口的气体体积，单位为L/s 。 注：在实际上，一个给定泵在规定条件下工作，对给定气体的体积流率（S ）取该气体的流量（ Q）与在给定测试罩 ZHEJIANG MADET/ZZB 0310 —2018 2 内规定位置的平衡压力（p ）的商。 3.2 几何体积流率 geometric volume flow rate 泵每转理论吸气容积与额定转速的乘积，单位为L/s。 3.3 基础压力 base pressure 泵按规定条件工作，在不引入气体的情况下，标准测试罩内趋向稳定的压力，单位为 Pa。 3.4 振动位移 vibration displacement 物体相对于某一参考坐标位置的变化的矢量，单位为μm 。 3.5 能效比 energy efficiency ratio（ EER） 泵在规定条件下 工作，泵最大功率时的体积流率与消耗功率之比，单位为L/ （s·kW）。 3.6 气镇 gas ballast 将适量非可凝性气体（镇气）引入到压缩腔内，使泵内避免或减少在压缩过程中产生冷凝液的一种 方法。 3.7 水蒸气容限 water vapour tolerance 标准环境条件（293K ，65％，101325Pa）下，连续运转时泵内不发生冷凝，所能抽除水蒸气的最高 入口压力，单位为（ Pa）。 3.8 最低启动温度 minimum starting temperature 入口在大气压力下，泵能启动的最低泵表面温度，单位为（℃）。 4 型式与基本参数 4.1 型式 滑阀真空泵的结构为：与泵腔同心的主轴上安装有偏心轮和滑阀，转动时偏心轮带动滑阀（环）沿 泵腔内壁滑动和滚动、滑阀（杆）在装于泵壳适当位置可摆动的导轨中滑动， 把泵腔分为两个可变容积。分单级和双级两种结构。 4.2 型号表示方法 型号的编制和表示方法应符合JB/T 7673—2011的规定。 4.3 标记示例 ZHEJIANG MADET/ZZB 0310 —2018 3 单、双级滑阀真空泵标记示例： a) 体积流率为 70L/s的双级滑阀 真空泵，标记为： 2H-70； b) 体积流率为 150L/s的单级滑阀真空泵，标记为： H-150。 4.4 基本参数 泵的性能参数应符合表1 的规定。 表1 性能参数 序 号 型号 体积流率 L/s 基础分压力（关气镇） Pa 基础全压力 Pa 抽气效率 ％ 水蒸气 容限PW Pa 振动 μm 噪声LW dB（A） 能效比 L/（s·kW） 推荐电机 功率 kW 关气镇 气镇 1.5KPa 2.0Pa （分压） 1 H-8 8 ≤6×10-1 ≤3.0 ≤40 ≥80 — ≥3×103 ≤60 ≤81 ≥7.5 ≤1.1 2 2H-8 8 ≤5×10-2 ≤1.3 ≤20 ≥45 ≥2×103 ≤82 3 H-15 15 ≤6×10-1 ≤3.0 ≤40 — ≥3×103 ≤80 ≤86 ≤2.2 4 2H-15 15 ≤5×10-2 ≤1.3 ≤20 ≥45 ≥2×103 ≤85 5 H-30 30 ≤6×10-1 ≤3.0 ≤40 — ≥3×103 ≤100 ≤92 ≤4.0 6 2H-30 30 ≤5×10-2 ≤1.3 ≤20 ≥45 ≥2×103 ≤91 7 H-70 70 ≤9×10-1 ≤3.0 ≤65 — ≥3×103 ≤180 ≤93 ≥10 ≤7.5 8 2H-70 70 ≤5×10-2 ≤1.3 ≤20 ≥45 ≥2×103 ≤92 ≥8 9 H-120 120 ≤9×10-1 ≤3.0 ≤65 — ≥3×103 ≤200 ≤93 ≥10 ≤11 10 2H-120 120 ≤5×10-2 ≤1.3 ≤20 ≥45 ≥2×103 ≤92 ≥8.5 11 H-150 150 ≤9×10-1 ≤3.0 ≤65 — ≥3×103 ≤250 ≤93 ≥10 ≤15 12 2H-150 150 ≤5×10-2 ≤1.3 ≤20 ≥45 ≥2×103 ≤92 ≥8.5 13 H-300 300 ≤9×10-1 ≤3.0 ≤65 — ≥3×103 ≤380 ≤100 ≥10 ≤30 14 H-600 600 ≤500 ≤103 ≤55 注1：抽气效率为泵的实际体积流率与几何体积流率之比。 注2：能效比为泵最大功率时的体积流率与消耗功率之比。 注3：基础压力系指经校准的薄膜真空计所测得的示值，其中分压是指带冷阱的薄膜真空计的示值。 注4：振动系指泵在基础压力时轴承部位径向的振动。 注5：噪声系指泵在基础压力（关气镇）下运转时的噪声（声功率级）。 5 基本要求 5.1 应具备对泵的结构强度、流道、运转进行设计、分析能力，分析不同的进气压力对泵结构和功能 的影响，并通过试验验证泵结构和功能的可靠性。 5.2 泵主要零件偏心轮、滑阀、导轨体、泵体的材质应根据 GB/T 9439 —2010的要求采用 HT250或以 上的牌号。每一批次浇注铸铁件应配附带试棒，做力学检测并保存相关力学检测数据以供溯源检测。 5.3 泵外购零部件应有 供应商提供的相关资质证明文件、质量承诺文件以及关键检测数据记录。 5.4 电机应符合 GB 14711—2013 的中小型电机通用安全要求 。 5.5 泵主要零件偏心轮、滑阀、导轨体、泵体加工前要进行时效处理, 泵体和滑阀等零件粗加工后需 进行二次定型处理，确保泵零件的通用性、互换性和泵性能的稳定性。 ZHEJIANG MADET/ZZB 0310 —2018 4 5.6 泵体和滑阀等零件应采用数控或高精度设备加工，加工和装配过程应设计并使用专用装具、夹 具，保证零件和产品的精度和成品率。 5.7 应具备材料成份、力学性能检验分析能力和泵出厂技术指标的检测能力。 6 技术要求 6.1 泵的各项性能指标应符合表 1规定。 6.2 泵进气口和排气口法兰依据 GB/T 6070 规定或根据合同要求设计制造。 6.3 在规定的测试条件下，泵启动 15min内应达到基础压力 2倍以内的水平。 6.4 泵长期连续运转的最高入口压力容许值：双级泵不低于 1.5kPa，单级泵不低于 15kPa。泵抽大气 时间不得超过 30min。 6.5 泵的工作环境温度为 5℃～40℃。 6.6 泵的最低启动温度为 12℃。 6.7 在泵排气阀附近测得的外表温度为泵的工作温度。如无特殊要求，泵连续运转时的工作温度不得 超过95℃。 6.8 泵不允许有漏油、漏水现象。 6.9 推荐采用 SH/T 0