书 书 书犐犆犛 ７７ ． ０４０ ． ３０ 犎 １７ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ３７０４９ — ２０１８ 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狋犺犲犮狅狀狋犲狀狋狅犳犿犲狋犪犾犻犿狆狌狉犻狋狔犻狀犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犵狉犪犱犲狆狅犾狔狊犻犾犻犮狅狀 — 犐狀犱狌犮狋犻狏犲犾狔犮狅狌狆犾犲犱狆犾犪狊犿犪犿犪狊狊狊狆犲犮狋狉狅犿犲狋狉狔犿犲狋犺狅犱 ２０１８  １２  ２８ 发布 ２０１９  ０４  ０１ 实施 国家市场监督管理总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书/G21 　　 /G22 　　 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 ＧＢ ／ Ｔ１．１ — ２００９ /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C 。 /G21 /G22 /G23 /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G22 /G23 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ） /G3E /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G22 /G23 /G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D /G36 /G37 /G3F /G3D （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ／ ＳＣ２ ） /G40 /G41 /G42 /G27 /G43 /G44 /G45 。 /G21 /G22 /G23 /G2B /G2C /G46 /G47 ： /G48 /G49 /G4A /G4B /G4C /G4D /G4E /G39 /G4F /G50 /G51 /G52 /G53 /G54 、 /G55 /G56 /G57 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G5D /G4F /G51 /G52 /G5E /G5F /G53 /G54 /G60 /G4B /G61 /G3F /G53 /G54 、 /G51 /G62 /G30 /G31 /G32 /G36 /G37 /G51 /G52 /G53 /G54 、 /G63 /G64 /G65 /G66 /G4C /G36 /G37 /G51 /G52 /G53 /G54 、 /G60 /G67 /G4B /G61 /G68 /G69 /G51 /G52 /G53 /G54 、 /G6A /G6B /G4A /G4C /G6C /G4E /G39 /G51 /G52 /G53 /G54 。 /G21 /G22 /G23 /G6D /G6E /G2B /G2C /G6F ： /G70 /G71 /G72 、 /G73 /G74 /G75 、 /G76 /G77 、 /G78 /G79 、 /G7A /G7B /G7C 、 /G7D /G7E /G75 、 /G7A /G7F 、 /G7D /G80 /G81 、 /G82 /G83 /G4F 、 /G84 /G85 /G85 、 /G86 /G87 、 /G88 /G89 /G8A 、 /G73 /G8B 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ３７０４９ — ２０１８ /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G23 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G24 /G2B /G2F /G3A /G3B １ 　 /G3C /G3D /G21 /G22 /G23 /G29 /G8C /G8D /G5C /G8E /G8F /G90 /G91 /G92 /G93 /G32 /G94 /G95 /G96 （ ＩＣＰＭＳ ） /G97 /G8C /G5C /G93 /G98 /G99 /G9A /G4C /G4A /G9B /G9C /G9D /G32 /G9E /G9F /GA0 /G94 /GA1 /G9C /G28 /GA2 /GA3 。 /G21 /G22 /G23 /GA4 /GA5 /GA6 ＧＢ ／ Ｔ１２９６３ /G4A /GA7 /G9D /G32 /G9E /G9F /GA0 /G94 /GA8 /GA6 ５ｎｇ ／ ｇ /GA9 /GAA /GAB /GAC 、 /GAD 、 /GAE 、 /GAF 、 /GB0 、 /GB1 /GA1 /G9C /G28 /G97 /G8C 。 ２ 　 /G3E /G3C /G3F /G40 /G41 /G42 /G43 /GB2 /GB3 /G71 /GB4 /GB5 /GA6 /G21 /G71 /GB4 /G28 /GB6 /GA5 /GB7 /GB8 /GB9 /GBA /GBB /G28 。 /GBC /GB7 /GBD /GBE /GBF /G28 /GC0 /GA5 /G71 /GB4 ， /GC1 /GBD /GBE /GBF /G28 /GC2 /G21 /GA4 /GA5 /GA6 /G21 /G71 /GB4 。 /GBC /GB7 /GB9 /GBD /GBE /GBF /G28 /GC0 /GA5 /G71 /GB4 ， /GC3 /GC4 /G60 /GC2 /G21 （ /GC5 /GC6 /GC7 /G51 /G28 /GC8 /GC9 /G46 ） /GA4 /GA5 /GA6 /G21 /G71 /GB4 。 ＧＢ ／ Ｔ１２９６３ 　 /G5C /G93 /G98 /G99 /G9A /G4C ＧＢ ／ Ｔ１４２６４ 　 /G30 /G31 /G32 /G36 /G37 /G3A /GCA ＧＢ ／ Ｔ２５９１５．１ — ２０１０ 　 /GCB /GCC /GCD /GCE /GCF /GD0 /GD1 /GD2 /GD3 /GD4 　 /GD5 １ /GD6 /G3F ： /GD7 /GD8 /GCB /GCC /GD9 /G91 /G98 ＪＪＦ１１５９ 　 /GDA /G98 /GDB /G5C /G8E /G8F /G90 /G91 /G92 /G93 /G32 /G94 /G95 /G96 /GDC /G23 /G29 /GA9 ＳＥＭＩＣ１ 　 /GDD /G32 /G38 /GDE /GDF /G3F /GE0 /GE1 /G65 （ Ｇｕｉｄｅｆｏｒｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓｏｆｌｉｑｕｉｄｃｈｅｍｉｃａｌｓ ） ＳＥＭＩＦ６３ 　 /G30 /G31 /G32 /GE2 /GE3 /GA5 /GE4 /GE5 /G5B /GE1 /G65 （ Ｇｕｉｄｅｆｏｒｕｌｔｒａｐｕｒｅｗａｔｅｒｕｓｅｄｉｎｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ） ３ 　 /G44 /G45 /G46 /G34 /G47 ＧＢ ／ Ｔ１４２６４ /GCE ＪＪＦ１１５９ /GE6 /G8C /G28 /GE7 /GCE /GB2 /GB3 /G3A /GCA /G35 /G8C /GE8 /GA4 /GA5 /GA6 /G21 /G71 /GB4 。 ３ ． １ 　 /G48 /G49 /G4A 　 狉犲狊狅犾狌狋犻狅狀 /GE7 /GE9 /GEA /GEB /G94 /G9C /GEC /G6C １０％ /GED /G28 /GEC /GEE /GEF /GF0 。 ３ ． ２ 　 /G4B /G4C /G4D 　 犱犲狋犲犮狋犻狅狀犾犻犿犻狋 /G94 /G95 /G96 /GA7 /GF1 /G8C /G28 /GF2 /GF3 /GD9 /GAB /GC7 /G4B /G97 /G8C /G28 /GE9 /GEA /GEB /G28 /GC4 /GF4 /GF5 /G52 /G94 /G9C /GF6 /GD9 。 ３ ． ３ 　 /G4E /G4F /G4B /G4C /G4D 　 犻狀狊狋狉狌犿犲狀狋犱犲狋犲犮狋犻狅狀犾犻犿犻狋 /GD7 /GF7 /GF8 /GF9 （ /GE5 /G5B ） /GF3 /GFA /GFB /GFC /GFD /G28 /GFE /GFF /G22 /G23 /G21 /G22 /GC7 /GB5 /GB6 /G28 /GF6 /GD9 /GFD 。 ３ ． ４ 　 /G50 /G3B /G4B /G4C /G4D （ /G34 /G31 /G51 /G4D ） 　 犿狅狋犺狅犱犱犲狋犲犮狋犻狅狀犾犻犿犻狋 /G26 /G8C /G28 /G3F /GE0 /GA2 /GA3 /GA7 /G67 /G8C /G23 /GB4 /GB2 /G4B /GE7 /G90 /G24 /G28 /GF2 /GF3 /G5B /GFB /G25 /G27 /G26 /G97 /G27 /G28 /GC4 /GA8 /GF6 /GD9 。 ３ ． ５ 　 /G52 /G53 /G54 /G55 　 犫犪犮犽犵狉狅狌狀犱狀狅犻狊犲 /G28 /GC0 /G29 /GE9 /GEA /GEB /G92 /G93 /G2A ， /G94 /G95 /G25 /G97 /G2B /G2C /G2D /G2E /G28 /G2F /GEA /GEB /G92 /G93 /G28 /GF3 /GFA /G30 /GB6 。 １ 犌犅 ／ 犜 ３７０４９ — ２０１８ ３ ． ６ 　 /G2F /G31 /G56 /G34 /G3F 狇狌犪犾犻狋狔狊狋犪犫犻犾