书 书 书犐犆犛 ７７ ． １２０ ． ９９ 犎 ６８ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 １７４７３ ． ６ — ２００８ 代替 ＧＢ ／ Ｔ１７４７３．６ — １９９８ 微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱狊狅犳狆狉犲犮犻狅狌狊犿犲狋犪犾狊狆犪狊狋犲狊狌狊犲犱犳狅狉 犿犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊 — 犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳狉犲狊狅犾狌狋犻狅狀 ２００８  ０３  ３１ 发布 ２００８  ０９  ０１ 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书前 　　 言 　　 本标准代替 ＧＢ ／ Ｔ１７４７３ — １９９８ 《 厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 》（ 所有部分 ）， 本标准分 为 ７ 个部分 ： ——— ＧＢ ／ Ｔ１７４７３．１ — ２００８ 　 微电子技术用贵金属浆料测试方法 　 固体含量测定 ； ——— ＧＢ ／ Ｔ１７４７３．２ — ２００８ 　 微电子技术用贵金属浆料测试方法 　 细度测定 ； ——— ＧＢ ／ Ｔ１７４７３．３ — ２００８ 　 微电子技术用贵金属浆料测试方法 　 方阻测定 ； ——— ＧＢ ／ Ｔ１７４７３．４ — ２００８ 　 微电子技术用贵金属浆料测试方法 　 附着力测试 ； ——— ＧＢ ／ Ｔ１７４７３．５ — ２００８ 　 微电子技术用贵金属浆料测试方法 　 粘度测定 ； ——— ＧＢ ／ Ｔ１７４７３．６ — ２００８ 　 微电子技术用贵金属浆料测试方法 　 分辨率测定 ； ——— ＧＢ ／ Ｔ１７４７３．７ — ２００８ 　 微电子技术用贵金属浆料测试方法 　 可焊性 、 耐焊性测定 。 本部分为 ＧＢ ／ Ｔ１７４７３ — ２００８ 的第 ６ 部分 。 本部分代替 ＧＢ ／ Ｔ１７４７３．６ — １９９８ 《 厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 　 分辨率测定 》。 本部分与 ＧＢ ／ Ｔ１７４７３．６ — １９９８ 相比 ， 主要有如下变动 ： ——— 将原标准名称修改为微电子技术用贵金属浆料测试方法 　 分辨率测定 ； ——— 增加了固化型贵金属浆料分辨率测定的内容 ； ——— 原 “ 光刻膜丝网网径 ２０２５ μ ｍ 不锈钢丝网 ” 改为 “ 光刻膜丝网 ， 丝网孔径不大于 ５４ μ ｍ ”； ——— 增加 ６．３ 将印有固化型的试样按其规定的工艺要求进行静置 、 烘干 、 固化 ， 固化后试样膜厚控 制在 １ μ ｍ ～ １５ μ ｍ ； ——— 分辨率规格分级重新定义为 ０．１ｍｍ 、 ０．２ｍｍ 、 ０．３ｍｍ 、 ０．４ｍｍ 、 ０．５ｍｍ 五个级别 。 本部分由中国有色金属工业协会提出 。 本部分由全国有色金属标准化技术委员会负责归口 。 本部分由贵研铂业股份有限公司负责起草 。 本部分起草人 ： 刘成 、 赵汝云 、 陈伏生 、 马晓峰 、 刘继松 、 朱武勋 。 本部分所代替标准的历次版本发布情况为 ： ——— ＧＢ ／ Ｔ１７４７３．６ — １９９８ 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 １７４７３ ． ６ — ２００８ 微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定 １ 　 范围 本部分规定了微电子技术用贵金属浆料分辨率的测定方法 。 本部分适用于微电子技术用贵金属浆料的分辨率测定 。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本部分的引用而成为本部分的条款 。 凡是注日期的引用文件 ， 其随后所有 的修改单 （ 不包括勘误的内容 ） 或修订版均不适用于本部分 ， 然而 ， 鼓励根据本部分达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本 。 凡是不注日期的引用文件 ， 其最新版本适用于本部分 。 ＧＢ ／ Ｔ８１７０ 　 数值修约规则 ３ 　 方法提要 浆料用丝网印刷成图形 。 图形按浆料正常使用时的条件烧结或固化要求进行烧结或固化 ， 用显微 镜在一定的放大倍数下观察和测量图形的膜线宽度和线间距 ， 进行浆料分辨率的测定 。 ４ 　 材料 ４ ． １ 　 光刻膜丝网 ， 丝网孔径不大于 ５４ μ ｍ 。 ４ ． ２ 　 符合不同浆料使用要求的基片 。 基片表面粗糙度不大于 １．５ μ ｍ （ 在测距为 １０ｍｍ 的条件下测 量 ）。 ５ 　 仪器与设备 ５ ． １ 　 丝网印刷机 。 ５ ． ２ 　 红外烘干机 ， 最高使用温度 ３５０℃ ， 控温精度 ±５℃ 。 ５ ． ３ 　 隧道式烧结炉 ， 最高使用温度 １０００℃ ， 控温精度 ±１０℃ 。 ５ ． ４ 　 电热鼓风式烘箱 ， 最高使用温度 ３００℃ ， 控温精度 ±５℃ 。 ５ ． ５ 　 读数显微镜 ， 放大倍数 ２５Ｘ ～ １００Ｘ ， 读数精度 ０．０１ｍｍ 以上 。 ５ ． ６ 　 光切测厚仪或电子千分尺 ， 读数精度 １ μ ｍ 以上 。 ６ 　 测定步骤 测试在温度 ２０℃ ～ ２５℃ 、 相对湿度 ４５％ ～ ７５％ 和大气压力 ８６ｋＰａ ～ １０６ｋＰａ 环境下进行 。 ６ ． １ 　 将样品搅拌均匀 ， 不得引入杂质 。 用丝网印刷机在基片上印出图形 ， 印刷图案为与表 １ 的膜线宽 度和线间距相等的五组 ４ 线条图形组成 。 ６ ． ２ 　 将印有烧结型浆料的基片水平放置 ５ｍｉｎ 。 用红外烘干机在 １５０℃ ～ ３００℃ 的条件下烘干 ， 试样的 烘干膜厚度控制在 １０ μ ｍ ～ ３５ μ ｍ 。 将烘干后的试样置于隧道烧结炉内 ， 按浆料烧成温度曲线设定炉温 进行烧结 ， 烧成膜厚度控制在 ５ μ ｍ ～ ２５ μ ｍ 。 ６ ． ３ 　 将印有固化型浆料的试样按其规定的工艺要求进行静置 、 烘干 、 固化 ， 固化后试样膜厚控制 在 １ μ ｍ ～ １５ μ ｍ 。 １ 犌犅 ／ 犜 １７４７３ ． ６ — ２００８ ６ ． ４ 　 将烧结或固化后的试样置于显微镜台面上 ， 调整目镜及物镜至图象清晰位置 ， 转动显微镜手柄 ， 从 ０．１ｍｍ 线条至 ０．５ｍｍ 线条之间 ， 选择最先具有线条均匀连续和轮廓鲜明的一组线条作为测量对象 。 ６ ． ５ 　 转动显微镜刻度手柄 ， 先后将显微镜内的十字坐标对准膜线两边侧 ， 测量膜线宽度 。 ６ ． ６ 　 用同样的方法测量线间距 。 ６ ． ７ 　 测量精度为 ０．０１ｍｍ ， 膜线宽度及线间距见图 １ 。 ６ ． ８ 　 对同一浆料试样 ， 每次测量的试样不少于 ６ 片 。 　　 犠 ａ ——— 膜线宽度 ； 犠 ｂ ——— 线间距 。 图 １ 　 膜线宽度及线间距示意图 ７ 　 测定结果计算 ７ ． １ 　 按式 （ １ ） 和式 （ ２ ） 分别计算出每片试样线条组的膜线宽度平均值 犡 Ａ 和线间距平均值 犡 Ｂ ： 犡 Ａ ＝ 犠 ａ１ ＋ 犠 ａ２ ＋ 犠 ａ３ ＋ 犠 ａ４ ４ …………………………（ １ ） 犡 Ｂ ＝ 犠 ｂ１ ＋ 犠 ｂ２ ＋ 犠 ｂ３ ３ …………………………（ ２ ） 　　 式中 ： 犡 Ａ ——— 膜线宽度平均值 ， 单位为毫米 （ ｍｍ ）； 犡 Ｂ ——— 线间距平均值 ， 单位为毫米 （ ｍｍ ）； 犠 ａ ——— 膜线宽度测量值 ， 单位为毫米 （ ｍｍ ）； 犠 ｂ ——— 线间距测量值 ， 单位为毫米 （ ｍｍ ）。 ７ ． ２ 　 数值修约按 ＧＢ ／ Ｔ８１７０ 的规定进行 ， 取两位有效数字 。 ７ ． ３ 　 分辨率规格见表 １ 。 表 １ 　 分辨率规格 分辨率规格 ／ ｍｍ ０．１ ０．２ ０．３ ０．４ ０．５ 膜线宽度 ／ ｍｍ ０．１ ０．２ ０．３ ０．４ ０．５ 线间距 ／ ｍｍ ０．１ ０．２ ０．３ ０．４ ０．５ ７ ． ４ 　 当 ６ 片试样全部达到同一规格时 ， 即可确定该规格为被测浆料的分辨率 。 ７ ． ５ 　 当膜线宽度的平均值和线间距的平均值与表 １ 相应规格的规定值的差值在 ±１０％ 以内时 ， 方可确 定为相应规格的分辨率 ， 差值超过 ±１０％ 时 ， 视为低一级规格分辨率 。 ７ ． ６ 　 当 ６ 片试样中有 １ 片或 １ 片以上试样的规格低于其余试样的规格时 ， 应重新进行测定 。 ２ 犌犅 ／ 犜 １７４７３ ． ６ — ２００８ ８ 　 试验报告 报告应包括以下主要内容 ： ａ ） 　 浆料名称 、 牌号和状态 ； ｂ ） 　 浆料批号 ； ｃ ） 　 试样编号 ； ｄ ） 　 检测结果及检测部门印章 ； ｅ ） 　 本标准号 ； ｆ ） 　 测试人及测试日期 。 犌犅 ／ 犜 １７４７３ ． ６ — ２００８ 书 书 书 ８００２ — ６  ３７４７１ 犜 ／ 犅犌 中华人民共和国 国家标准 微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定 ＧＢ ／ Ｔ１７４７３．６ — ２００８  中国标准出版社出版发行 北京复兴门外三里河北街 １６ 号 邮政编码 ： １０００４５ 网址 ｗｗｗ．ｓｐｃ．ｎｅｔ．ｃｎ 电话 ： ６８５２３９４６ 　 ６８５１７５４８ 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销  开本 ８８０×１２３０１ ／ １６ 　 印张 ０．５ 　 字数 ７ 千字 ２００８ 年 ６ 月第一版 　 ２００８ 年 ６ 月第一次印刷  书号 ： １５５０６６ · １３１５２５ 如有印装差错 　 由本社发行中心调换 版权专有 　 侵权必究 举报电话 ：（ ０１０ ） ６８５３３５３３