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ICS 25.220.99 GB CCS A29 中华人民共和国国家标准 GB/T44538—2024 碳基薄膜 椭偏光谱法测定 非晶态碳基薄膜的光学性能 Carbon based filmsDetermination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry (IS023216:2021,MOD) 2024-09-29发布 2025-05-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T44538—2024 目 次 前言 II 1 范围 规范性引用文件 2 3 术语和定义 试样制备 4 设备 5.1 卤素灯和蓝光LED灯 5.2 探测器 5.3 与光电倍增管(PMT)/电荷耦合器件(CCD)/光电二极管阵列(PDA)连接的光谱仪 5.4 软件 5.5 置物台 5.6 测角仪 5.7 摄像机 6试验步骤 6.1 样品预处理 6.2 试验准备 6.3 试验条件 6.4 光学模型 6.5 测试过程 6.6 平行试验 试验结果分类 试验报告 附录A(规范性) 非晶碳基薄膜的光学性质分类方法

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