ICS71.100.20 CCSG86 中华人民共和国国家标准 GB/T26250—2025 代替GB/T26250—2010 电子气体 砷化氢 Electronicgas—Arsine 2025-04-25发布 2025-11-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T26250—2010《电子工业用气体 砷化氢》,与GB/T26250—2010相比,除结构 调整和编辑性改动外,主要技术变化如下: ———更改了范围(见第1章,2010年版的第1章); ———更改了砷化氢应符合的技术要求(见第4章,2010年版的第3章); ———更改了采样的要求(见第5章,2010年版的4.1.2); ———更改了纯度计算方法(见6.1,2010年版的4.2); ———更改了氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、磷化氢含量的测定方法(见6.2,2010年版的 4.4、4.5、4.6、4.8); ———增加了乙烷、乙烯、锗烷、硅烷、硫化氢含量的测定方法(见6.2); ———更改了水分含量的测定方法(见6.3,2010年版的4.7); ———更改了尾气处理的要求(见6.4,2010年版的4.3); ———更改了金属元素的测定方法(见6.5,2010年版的4.9); ———删除了颗粒的测定(2010年版的4.10); ———更改了检验规则(见第7章,2010年版的4.1); ———更改了标志、包装、运输及贮存的要求(见第8章,2010年版的5.1); ———更改了安全信息的内容(见8.3,2010年版的5.2)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:玉门大洋天庆石化有限责任公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海栎智半导 体科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、上海亿钶气体股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公 司、浙江省标准化研究院、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、 中昊光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投 资(上海)有限公司、上海市计量测试技术研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容 器有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、北京睿信捷 环保科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、西南化工研究设计院有限公司。 本文件主要起草人:马彬淇、马杰、潘华杰、任如、孙建、叶凯、乔洋、董建平、沈峰、史兰、崔雯、 赵赛迪、吕磊、刘丹、孙福楠、郭琼、赖晓峰、王见见、依俊廷、杜雨桐、黄辉、李春华、杨金山、鲍光强、 王大为、李明、常侠、牛迪、谈益强、尹乐乐、赵洁、何波、唐中伟、周鹏云、唐霞梅。 本文件于2010年首次发布,本次为第一次修订。 ⅠGB/T26250—2025