ICS 71.040.40 N33 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T20175-2006/ISO14606:2000 表面化学分析 溅射深度部析 用层状膜系为参考物质的优化方法 Surface chemical analysis--Sputter depth profiling- Optimization using layered system as reference materials (ISO14606:2000,IDT) 2006-03-27发布 2006-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T20175—2006/ISO14606:2000 目 次 前言 引言… 范围 术语和定义· 符号和缩略语 溅射深度剖析的参数设定 5 溅射深度剖析时理想突变界面的深度分辨 6 参数设定优化的步骤 附录A（资料性附录） 影响深度分辨的因素 附录B（资料性附录） 典型单层膜系参考物质 附录C（资料性附录） 典型多层膜系参考物质 10 附录D（资料性附录） 多层膜系的使用 11 参考文献 12

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