1CS71.040.40 CCSG04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T41064—2021/ISO17109:2015 表面化学分析 深度剖析 用单层和 多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇 电子能谱和二次离子质谱中深度部析 溅射速率的方法 Surface chemical analysis-Depth profilingMethod for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy,Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layerthin films (IS017109:2015,IDT) 2021-12-31发布 2022-07-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会
GB-T 41064-2021 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
文档预览
中文文档
20 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
温馨提示:本文档共20页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
本文档由 人生无常 于 2024-04-04 23:34:18上传分享