ICS13.040.35 CCS C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.14—2022/ISO14644-14:2016 洁净室及相关受控环境第14部分：按粒子浓度评估设备适用性 Cleanrooms and associated controlled environmentsPart14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO14644-14:2016,IDT) 2022-12-30发布 2023-07-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会

GB-T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境第14部分：按粒子浓度评估设备适用性

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