(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123282802.0 (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 南通同方半导体有限公司 地址 226000 江苏省南 通市经济开发区东 方大道49 9号 (72)发明人 朱剑峰　黄季前　朱红巍　沙东升　 杜团祥　 (74)专利代理 机构 南京华恒专利代理事务所 (普通合伙) 32335 专利代理师 宋方园 (51)Int.Cl. B08B 1/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种半导体加工用检测设备 (57)摘要 本实用新型涉及一种半导体加工用检测设 备， 包括底座， 所述底座的顶部固定连接有工作 台， 所述工作台的顶部固定连接有支架， 所述支 架的顶部固定连接有顶板， 所述顶板的顶部设置 有清理组件， 所述顶板的底部固定安装有检测设 备。 该半导体加工用检测设备， 通过电机带动偏 心轮进行转动， 偏心轮会推动活动块进行移动， 活动块带动支杆连接的清理刷进行移动， 当推动 活动块朝正面移动时， 会拉伸弹簧， 当偏心轮与 活动块脱离后， 弹簧发生复位会将活动块拉回， 偏心轮在电机的始终转动下， 会 带动清理刷重复 移动， 从而将检测设备进行擦拭清理， 起到了自 动清理的作用， 从而利用检测设备对样品进行检 测。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 216988736 U 2022.07.19 CN 216988736 U 1.一种半导体加工用检测设备， 包括底座(1)， 其特征在于： 所述底座(1)的顶部固定连 接有工作台(2)， 所述工作台(2)的顶部固定连接有支架(3)， 所述支架(3)的顶部固定连接 有顶板(4)， 所述顶板(4)的顶部设置有清理组件(5)， 所述顶板(4)的底部固定安装有检测 设备(6)； 所述清理组件(5)包括有与顶部固定连接 的支撑架(501)， 所述支撑架(501)的外表面 固定连接有电机(502)， 所述电机(502)的输出轴固定连接有偏心轮(503)， 所述顶板(4)顶 部的左右两侧均固定连接有套管(504)， 两个所述套管(504)的内壁均固定连接有弹簧 (505)， 两个远离所述套管(504)的一端固定连接有活动板(506)， 两个所述活动板(506)远 离弹簧(505)的一侧固定连接有活动杆(507)， 两个所述活动杆(507)相对的一侧固定连接 有活动块(508)， 所述活动块(508)底部的左右两侧均固定连接有支杆(509)， 两个所述支杆 (509)相对的一侧固定连接有清理刷(510)。 2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备， 其特征在于： 所述顶板(4)的顶 部开设有数量为两个的限位槽(9)， 所述活动块(508)的底部开设有数量为两个的连接槽 (7)， 两个所述连接槽(7)的内部均活动连接有滚轮(8)， 所述滚轮(8)位于连接槽(7)的内 部。 3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备， 其特征在于： 所述顶板(4)的内 部开设有数量 为两个的滑孔， 两个所述滑孔的内部与支杆(5 09)活动连接 。 4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备， 其特征在于： 所述支撑架(501) 呈U形， 且支撑架(5 01)与顶板(4)呈平行状。 5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备， 其特征在于： 两个所述套管 (504)通过支撑杆与顶板(4)固定连接， 且支撑杆与顶板(4)的连接角度为九十度。 6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用检测设备， 其特征在于： 两个所述套管 (504)相互之间平行， 所述支杆(5 09)呈L形。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216988736 U 2一种半导体加工用检测设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体技 术领域， 具体为 一种半导体加工用检测设备。 背景技术 [0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料， 半导体在集成电路、 消 费电子、 通信系统、 光伏发电、 照明、 大功 率电源转换等领域 都有应用， 如二极管就是采用半 导体制作的器件， 无论从科技或是 经济发展的角度来看， 半导体的重要性都是非常巨大的。 [0003]在对半导体进行生产时， 需要对半导体抽样检测， 例如进行 图像检测半导体 的尺 寸或封装情况， 由于长时间的使用， 一般的检测设备不具备自动清理镜头的作用， 导致需要 人工经常进行维护， 及其的不方便， 故而提出一种半导体加工用检测设备来 解决上述问题。 实用新型内容 [0004]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种半导体加工用检测 设备， 具备可自 动进行清理等优点， 解决了需要人工经常进行维护， 及其的不方便的问题。 [0005]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种半导体加工用检测设备， 包 括底座， 所述底座的顶部固定连接有工作台， 所述工作台的顶部固定连接有支架， 所述支架 的顶部固定连接有顶板， 所述顶板的顶部设置有清理组件， 所述顶板的底部固定安装有检 测设备。 [0006]所述清理组件包括有与顶部固定连接的支撑架， 所述支撑架的外表面固定连接有 电机， 所述电机的输出轴固定连接有偏心轮， 所述顶板顶部的左右两侧均固定连接有套管， 两个所述套管 的内壁均固定连接有弹簧， 两个所述远离套管 的一端固定连接有活动板， 两 个所述活动板远离弹簧的一侧固定连接有活动杆， 两个所述活动杆相对的一侧固定连接有 活动块， 所述活动块底部的左右两侧均固定连接有支杆， 两个所述支杆相对的一侧固定连 接有清理刷。 [0007]进一步， 所述顶板 的顶部开设有数量为两个的限位槽， 所述活动块的底部开设有 数量为两个的连接槽， 两个所述连接槽的内部均 活动连接有滚轮， 所述滚轮位于连接槽的 内部。 [0008]进一步， 所述顶板 的内部开设有数量为两个的滑孔， 两个所述滑孔的内部与支杆 活动连接 。 [0009]进一步， 所述支撑架呈U形， 且支撑架与顶板呈平行状。 [0010]进一步， 两个所述套管通过支撑杆与顶板固定连接， 且支撑杆与顶板 的连接角 度 为九十度。 [0011]进一步， 两个所述套管相互之间平行， 所述支杆 呈L形。 [0012]与现有技 术相比， 本申请的技 术方案具 备以下有益效果： [0013]该半导体加工用检测设备， 通过电机带动偏心轮进行转动， 偏心轮会推动活动块 进行移动， 活动块带动支杆连接的清理刷进 行移动， 由于套 管的内壁连接有弹簧， 当推动活说　明　书 1/3 页 3 CN 216988736 U 3