ICS77.120.99 H68 中华人民共和国国家标准 GB/T26312—2010 蒸 发 金 Goldforevaporating 2011-01-14发布 2011-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会发布前 言 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本标准起草单位:北京达博有色金属焊料有限责任公司、贺利氏招远贵金属材料有限公司、贺利氏 招远(常熟)电子材料有限公司、北京有研亿金新材料股份有限公司。 本标准主要起草人:杜连民、向翠华、禹洁丽、房晋、周晓光、毛松林、王卫东、付建彬、闫琳。 ⅠGB/T26312—2010 蒸 发 金 1 范围 本标准规定了蒸发金的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本标准主要适用于制造半导体器件用芯片时背金用蒸发金。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T11066(所有部分) 金化学分析方法 GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T25934(所有部分) 高纯金化学分析方法 3 要求 3.1 产品分类 3.1.1 蒸发金产品按化学成分分为Z-Au99.999和Z-Au99.99两种牌号。 3.1.2 蒸发金产品主要以片状、柱状和线盘状为主,产品形状及供货状态应满足表1的要求。需方有 其他要求时由供需双方协商解决。 表1 形状 定 义 供货状态 柱状 直径为0.5mm~8mm、长度为2mm~100mm的线材 片状 长为5mm~20mm、宽为5mm~20mm、厚为0.5mm~3mm的片材 线盘状直径为0.5mm~2mm、重量在100g~500g的线材盘成线盘 状为主,线盘直径一般为100mm~300mm硬态 3.2 产品标记示例 3.2.1 柱状蒸发金标记 Z-Au99.999,ϕ□ 直径×□mm 长度 示例:直径为5mm、长度为20mm、成分为99.999%的柱状蒸发金产品 标记为:Z-Au99.999,ϕ5×20mm。 1GB/T26312—2010 3.2.2 蒸发金片状产品标记 Z-Au99.999,□ 长×□ 宽×□mm 厚 示例:长为10mm、宽为10mm、厚为2mm的片状蒸发金产品 标记为:Z-Au99.999,10×10×2mm。 3.2.3 蒸发金线盘状产品标记 Z-Au99.999,ϕ□mm 线材直径,□g/线盘 每线盘重量 示例:线径为0.5mm、每盘200g重量的线盘状蒸发金产品 标记为:Z-Au99.999,ϕ0.5mm,200g/线盘。 3.3 化学成分 产品化学成分应符合表2的要求,其中金质量分数为100%减去表中规定的杂质实测值的总和而 得。需方对某种特定杂质元素含量有要求的,按供需双方协商进行。 表2 牌号Au/% 不小于杂质含量(质量分数)/%,不大于 Ag Cu Fe Pb Bi Sb Si Mn Z-Au99.999≥99.9990.00050.00010.00020.00010.00010.00010.00020.0001 Z-Au99.99 ≥99.990.0050.0020.0020.0010.0020.0010.0050.0003 牌号Au/% 不小于杂质含量(质量分数)/%,不大于 Pd Mg As Sn Cr Ni 总量 Z-Au99.999≥99.9990.00010.00020.00010.00010.00010.00010.01 Z-Au99.99 ≥99.990.0050.0030.0030.0010.00030.00030.1 3.4 尺寸及允许偏差 3.4.1 产品形状如图1所示。片状产品尺寸及允许偏差应符合表3的要求;柱状产品的尺寸及允许偏 差应符合表4和表5的要求;线盘状产品的长度偏差及线盘的直径不做要求,以需方要求的每盘重量范 围为主协商解决。 a) 片状 b) 柱状 c) 线盘状 图1 蒸发金产品图 2GB/T26312—2010 表3 单位为毫米 示意尺寸 A B C 允许偏差 ±1 ±1 ±0.2 表4 单位为毫米 直 径 允许偏差 ≥0.10 ±0.01 ≥1.00 ±0.08 ≥3.0 ±0.08 ≥5.0 ±0.09 ≥6.0 ±0.09 ≥7.0 ±0.1 ≥8.0 ±0.1 表5 长度允许偏差 单位为毫米 定尺长度 允许偏差 ≤10 ±1.0 >10 ±2.0 3.4.2 供需双方可协商生产其他规格产品,需方如有其他要求在合同中注明。 3.5 外观质量 3.5.1 蒸发金产品表面应清洁,不应有拉伸润滑痕迹、油污、黑斑、锈蚀、裂纹、分层、凸起、毛刺等缺陷。 3.5.2 蒸发金产品表面应无颗粒附加物和其他沾污。 3.5.3 蒸发金产品表面允许有个别的、深度不超出直径允许偏差的凹坑和划痕等缺陷。 3.5.4 蒸发金产品的端部允许有轻微的铸、冲、剪等痕迹。 3.6 内部组织 蒸发金的内部质量由供方的生产工艺保证,内部不应有疏松、夹杂、气孔等缺陷。 4 试验方法 4.1 Z-Au99.999蒸发金的化学成分仲裁分析方法按GB/T25934的规定进行。Z-Au99.99蒸发金 的化学成分仲裁分析按GB/T11066的规定进行。 4.2 产品尺寸测量按GB/T15077的规定进行。 4.3 外观质量检验采用目视进行,必要时可采用放大镜或(10~25)倍双目显微镜检查。 3GB/T26312—2010 5 检验规则 5.1 检查与验收 5.1.1 蒸发金产品由供方质量技术监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准规定并填写质量证 明书。 5.1.2 需方可对收到的产品按本标准规定进行检验,如检验结果与本标准(或订货合同,或技术协议) 规定不符合时,应在收到产品之日起1个月内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,可委托双 方认可的单位进行复验,仲裁取样在需方由双方共同进行。 5.2 组批 蒸发金产品应成批提交验收,每批产品应为同一牌号、炉号、状态、规格的产品组成。 5.3 检验项目 每批蒸发金应进行化学成分、尺寸偏差、外观质量项目检验。 5.4 取样规则及数量 检验项目、取样位置及数量应符合表6的规定。 表6 检验项目 取样规定 要求的章条号检验的章条号 化学成分 按批在每个铸锭的任意部位或半成品时任取一个试样 3.3 4.1 尺寸偏差片状或柱状产品按数量的1%进行取样,但不得少于3个; 线盘状产品取10%进行抽检,每盘任意取3个部位进行尺寸测量3.4 4.2 外观质量 抽取10% 3.5 4.3 内部组织 — 3.6 — 5.5 检验结果的判定 5.5.1 化学成分不合格时,则判该批产品为不合格。 5.5.2 尺寸及其偏差不合格,取双倍样进行重复试验,若仍有不合格,则判该批产品不合格。但允许对 余下的产品进行逐件检验,合格者重新组批交货。 5.5.3 外观质量不合格,重新取双倍样进行检验;若仍有不合格,则判该批产品不合格。但允许对余下 的产品进行逐件检验,合格者重新组批交货。 6 标志、包装、运输、贮存 6.1 标志、包装 6.1.1 将检验的合格产品按要求分件包装。 6.1.2 蒸发金产品内包装真空密封,内外包装间装防震动的填充物。 6.1.3 每件包装产品塑料袋外应附有标签,其上注明:供方名称、产品名称及牌号、规格尺寸、批号、数 4GB/T26312—2010 量(净重)、生产日期。 6.2 运输、贮存 6.2.1 运输中应防止包装箱挤压变形、碰伤、雨淋、受潮及恶劣环境。 6.2.2 产品应在清洁、干燥、无腐蚀性环境中贮存。 6.3 质量证明书 每批产品应附有质量证明书,注明下列内容: a) 需方名称及合同号; b)产品名称及产品牌号; c)采购技术文件编号或本标准编号; d)批号、规格尺寸; e)净重和件数; f)各项分析检验结果及质量技术监督部门印记; g)生产日期。 7 订货单(或合同)内容 本标准所列材料的订货单(或合同)应包括下列内容: a)产品名称; b)产品牌号; c)规格尺寸; d)数量或净重; e)本标准编号; f)供货时间; g)其他标准之外技术协议、采购规范编号供货要求等。 5GB/T26312—2010