书 书 书犐犆犛 ７１ ． １００ ． ２０ 犌 ８６ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ２６２５１ — ２０１０ 氟和氟氮混合气 犉犾狌狅狉犻狀犲犪狀犱犿犻狓犲犱犵犪狊犲狊狅犳犳犾狌狅狉犻狀犲狀犻狋狉狅犵犲狀 ２０１１  ０１  １４ 发布 ２０１１  ０５  ０１ 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书前 　　 言 　　 本标准的附录 Ａ 为规范性附录 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ） 提出 。 本标准由全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ） 归口 。 本标准起草单位 ： 中核红华特种气体股份有限公司 、 上海华爱色谱分析技术有限公司 、 山东锐华氟 业有限公司 、 核工业理化工程研究院 、 西南化工研究设计院 。 本标准主要起草人 ： 杜伟华 、 贺国武 、 李建浩 、 李春晓 、 倪志强 、 邓建平 、 周鹏云 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ２６２５１ — ２０１０ 氟和氟氮混合气 １ 　 范围 本标准规定了氟和氟氮混合气的技术要求 ， 试验方法以及包装 、 标志 、 贮运及安全的要求 。 本标准适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟 。 氟用于制备六氟化铀 、 六氟化硫 、 三氟化硼 、 二氟化银 、 三氟化钴和三氟化镁等氟化物 ， 也可用于激光气或塑料氟化处理等领域 。 氟氮混合气制备采用压力法 。 混合气主要用于汽车 、 制药工业中材料氟化处理 。 氟的分子式 ： Ｆ ２ 。 氟的相对分子质量 ： ３７．９９６８０６４ （ 按 ２００７ 年国际相对原子质量计算 ）。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 。 凡是注日期的引用文件 ， 其随后所有 的修改单 （ 不包括勘误的内容 ） 或修订版均不适用于本标准 ， 然而 ， 鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本 。 凡是不注日期的引用文件 ， 其最新版本适用于本标准 。 ＧＢ１９０ 　 危险货物包装标志 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 　 工业用化学产品采样安全通则 ＧＢ５０９９ 　 钢质无缝气瓶 ＧＢ７１４４ 　 气瓶颜色标志 ＧＢ ／ Ｔ８９７９ 　 纯氮 、 高纯氮和超纯氮 ＧＢ ／ Ｔ１１６４０ 　 铝合金无缝气瓶 ＧＢ１４１９４ 　 永久气体气瓶充装规定 ＧＢ ／ Ｔ２６５７１ 　 特种气体储存期规范 《 气瓶安全监察规程 》（ 国家质量监督检验检疫总局发布 ， ２０００ 年 ） ３ 　 技术要求 ３ ． １ 　 氟的技术要求应符合表 １ 的规定 。 表 １ 　 氟的技术指标 项 　　 目 指标 氟 （ Ｆ ２ ） 纯度 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≥ ９９．０ 氧 （ Ｏ ２ ） ＋ 氮 （ Ｎ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≤ ０．４５ 四氟化碳 （ ＣＦ ４ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≤ ０．０５ 氟化氢 （ ＨＦ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≤ ０．５０ ３ ． ２ 　 氟氮混合气的技术要求应符合表 ２ 的规定 。 表 ２ 　 氟氮混合气的技术指标 项 　　 目 指标 氟 （ Ｆ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ２０ 氮 （ Ｎ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ８０ １ 犌犅 ／ 犜 ２６２５１ — ２０１０ 表 ２ （ 续 ） 项 　　 目 指标 氧 （ Ｏ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≤ ０．０８ 四氟化碳 （ ＣＦ ４ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≤ ０．０３ 氟化氢 （ ＨＦ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≤ ０．５０ ３ ． ２ ． １ 　 配制氟氮混合气所用的原料氮应符合 ＧＢ ／ Ｔ８９７９ 高纯氮的规定 。 氟氮混合气配制允差为氟公 称含量的 ±０．５％ 。 ３ ． ２ ． ２ 　 允许氟氮混合气的比例按供需双方确定的要求 。 ４ 　 试验方法 ４ ． １ 　 检验规则 ４ ． １ ． １ 　 氟的检验规则 氟气应逐一检查验收 。 当检验结果有一项指标不符合本标准表 １ 要求时 ， 则判该产品不合格 。 ４ ． １ ． ２ 　 氟氮混合气的检验规则 连续稳定生产的混合气构成一批 ， 每批随机抽检 １ 瓶 。 当检验结果有任何一项不符合本标准表 ２ 要求时 ， 应自该批产品中重新加倍抽样检验 ， 若仍有一项指标不符合要求 ， 则该批产品为不合格 。 ４ ． １ ． ３ 　 氟和氟氮混合气的采样安全应符合 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 的相关规定 。 ４ ． ２ 　 氧 、 氮 、 四氟化碳 、 氟化氢以及氟的测定 ４ ． ２ ． １ 　 氧 、 氮 、 四氟化碳 、 氟化氢及氟的测定见附录 Ａ 。 ４ ． ２ ． ２ 　 允许采用其他等效的方法测定氧 、 氮 、 四氟化碳 、 氟化氢及氟含量 。 当测定结果有异议时 ， 以本 标准 ４．２．１ 规定的方法为仲裁方法 。 ４ ． ２ ． ３ 　 测定氟和氟氮混合气时 ， 应对放空的尾气进行处理 ， 推荐采用三氧化二铝吸收 。 ５ 　 包装 、 标志 、 贮运及安全 ５ ． １ 　 包装 、 标志及贮运 ５ ． １ ． １ 　 氟和氟氮混合气的充装及贮运应符合 《 气瓶安全监察规程 》 的相关规定 。 ５ ． １ ． ２ 　 包装氟和氟氮混合气的气瓶应符合 ＧＢ５０９９ 或 ＧＢ ／ Ｔ１１６４０ 的规定 。 ５ ． １ ． ３ 　 推荐使用经过内表面处理的气瓶 。 推荐使用 ＣＧＡ６７９ 瓶阀 。 ５ ． １ ． ４ 　 应防止瓶口被污染和泄漏 。 ５ ． １ ． ５ 　 充装氟和氟氮混合气的气瓶应进行彻底清洗 、 脱脂和干燥处理 。 ５ ． １ ． ６ 　 氟和氟氮混合气的充装应符合 ＧＢ１４１９４ 的相关规定 。 ５ ． １ ． ７ 　 气瓶颜色标志应符合 ＧＢ７１４４ 的规定 。 ５ ． １ ． ８ 　 运输时 ， 氟和氟氮混合气的气瓶上应附有 ＧＢ１９０ 中指定的标志 。 ５ ． １ ． ９ 　 包装容器上应标明 “ 氟 ” 或 “ 氟氮混合气 ” 字样 。 ５ ． １ ． １０ 　 瓶装氟的成品压力在 ２０℃ 时不高于 ２ＭＰａ 。 瓶装氟氮混合气的成品压力在 ２０℃ 时不高于 １０ＭＰａ 。 ５ ． １ ． １１ 　 氟和氟氮混合气的充装量按实际称量的质量计 。 ５ ． １ ． １２ 　 氟和氟氮混合气的保存期限按 ＧＢ ／ Ｔ２６５７１ 执行 。 ５ ． １ ． １３ 　 氟和氟氮混合气出厂时应附有产品质量合格证 ， 其内容至少应包括 ： ——— 产品名称 ， 生产厂名称 ； ——— 生产日期或批号 ， 充装压力 （ ＭＰａ ） 或充装量 （ ｋｇ ）； ——— 本标准号及技术指标 ， 检验员号 。 ２ 犌犅 ／ 犜 ２６２５１ — ２０１０ ５ ． １ ． １４ 　 氟和氟氮混合气产品应存放在阴凉 、 干燥 、 通风的库房内 ， 严禁暴晒 ， 远离热源 。 ５ ． ２ 　 安全警示 ５ ． ２ ． １ 　 氟气是黄色压缩气体 ， 有刺鼻气味 ； 是一种强氧化剂 ， 与可燃物质和还原性物质激烈反应 ； 与水 激烈反应 ， 生成臭氧和氟化氢 ； 与氨 、 金属 、 氧化剂和许多其他物质激烈反应 ， 有着火和爆炸的危险 。 ５ ． ２ ． ２ 　 氟气不可燃 ， 但可助燃 。 不应与水 、 可燃物质和还原剂接触 。 着火时 ， 应使用干粉和二氧化碳灭 火 。 喷雾状水保持钢瓶冷却 ， 但应避免氟与水接触 。 ５ ． ２ ． ３ 　 氟严重腐蚀眼睛 、 皮肤和呼吸道 。 吸入气体可能引起肺水肿 。 液态氟可能引起冻伤 。 ５ ． ２ ． ４ 　 时间加权平均接触限值 ： １×１０ －６ （ 体积分数 ）。 短期接触限值 ： ２×１０ －６ （ 体积分数 ）。 时间加权平均接触限值 ： 正常 ８ｈ 工作日或 ４０ｈ 工作周的时间加权平均浓度 。 短期接触限值 ： 每次接触时间不得超过 １５ｍｉｎ 的时间加权平均接触限值 。 ５ ． ２ ． ５ 　 皮肤烧伤时应用大量水冲洗 ， 然后脱去污染的衣物并再次冲洗 ， 应及时治疗 。 ５ ． ２ ． ６ 　 泄漏时 ， 人员应撤离危险区域！保持通风 。 ５ ． ２ ． ７ 　 接触氟和氟氮混合气时 ， 推荐使用带有隔绝式呼吸防器的气密式化学防护服 。 ５ ． ２ ． ８ 　 氟和氟氮混合气生产企业应为用户提供安全技术说明书 。 ３ 犌犅 ／ 犜 ２６２５１ — ２０１０ 附 　 录 　 犃 （ 规范性附录 ） 氧 、 氮 、 四氟化碳 、 氟化氢以及氟的测定 犃 ． １ 　 仪器 犃 ． １ ． １ 　 采用配备双热导检测器的气相色谱仪测定氧 、 氮 、 四氟化碳 、 氟化氢及氟 。 检测限 ： ０．０１×１０ －２ （ 体积分数 ）。 犃 ． １ ． ２ 　 采用配备氟化钠为吸附剂的取样系统 。 吸附剂用于吸附氟化氢 ， 吸附罐约为 ２Ｌ 。 犃 ． ２ 　 原理 样品经取样系统后 ＨＦ 被吸收 ， 经六通取样阀进色谱分析 ， 样品气经转化柱 ， 其中的 Ｆ ２ 转化为 Ｃｌ ２ ， 氟氯油柱分离氧 、 氮和 Ｃｌ ２ ， Ｃｌ ２ 在氟氯油柱上分离定量 ， Ｆ ２ 含量可由 Ｃｌ ２ 换算 ， 所测得 Ｃｌ ２ 含量可表达 Ｆ ２ 含量 。 通过切换阀将氧 、 氮 、 ＣＦ ４ 流入分子筛柱分析 。 ＨＦ 含量通过差减法计算得出 。 犃 ． ３