书 书 书犐犆犛 ７１ ． １００ ． ２０ 犌 ８６ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 ２６２４９ — ２０１０ 电子工业用气体 　 硒化氢 犌犪狊犲狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔 — 犎狔犱狉狅犵犲狀狊犲犾犲狀犻犱犲 ２０１１  ０１  １４ 发布 ２０１１  ０５  ０１ 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书前 　　 言 　　 本标准的附录 Ａ 和附录 Ｂ 为规范性附录 。 附录 Ｃ 为资料性附录 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ） 提出 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会 （ ＳＡＣ ／ ＴＣ２０３ ／ ＳＣ１ ） 归口 。 本标准起草单位 ： 中国计量科学研究院 、 西南化工研究设计院 、 上海华爱色谱分析技术有限公司 、 河 北保定市北方特种气体有限公司 。 本标准主要起草人 ： 周泽义 、 方华 、 庄鸿涛 、 李建浩 、 周鹏云 、 徐少兵 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 ２６２４９ — ２０１０ 电子工业用气体 　 硒化氢 １ 　 范围 本标准规定了硒化氢的技术要求 ， 试验方法以及包装 、 标志 、 贮运及安全 。 本标准适用于硒铝 、 硒镁合金化合物水解 、 单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢 产品 。 它主要用于太阳能电池 、 半导体和集成电路生产的外延 、 离子注入和掺杂 。 分子式 ： Ｈ ２ Ｓｅ 。 相对分子质量 ： ８０．９７５８８ （ 按 ２００７ 年国际相对原子质量计算 ）。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 。 凡是注日期的引用文件 ， 其随后所有 的修改单 （ 不包括勘误的内容 ） 或修订版均不适用于本标准 ， 然而 ， 鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本 。 凡是不注日期的引用文件 ， 其最新版本适用于本标准 。 ＧＢ１９０ 　 危险货物包装标志 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 　 工业用化学产品采样安全通则 ＧＢ５０９９ 　 钢质无缝气瓶 ＧＢ ／ Ｔ５８３２．１ 　 气体中湿度的测定 　 第 １ 部分 ： 电解法 ＧＢ７１４４ 　 气瓶颜色标志 ＧＢ ／ Ｔ８９８４ 　 气体中一氧化碳 、 二氧化碳和碳氢化合物的测定 　 气相色谱法 ＧＢ ／ Ｔ１１６４０ 　 铝合金无缝气瓶 ＧＢ１４１９３ 　 液化气体气瓶充装规定 ＧＢ ／ Ｔ２６５７１ 　 特种气体储存期规范 《 气瓶安全监察规程 》（ 国家质量监督检验检疫总局发布 ， ２０００ 年 ） ３ 　 技术要求 硒化氢的技术要求应符合表 １ 的规定 。 表 １ 　 技术指标 项 　　 目 指 　　 标 硒化氢 （ Ｈ ２ Ｓｅ ） 纯度 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≥ ９９．９９ 氢 （ Ｈ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ ２０ 氧 ＋ 氩 （ Ｏ ２ ＋Ａｒ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ １０ 氮 （ Ｎ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ ２０ 一氧化碳 （ ＣＯ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ １０ 二氧化碳 （ ＣＯ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ １０ 总烃 （ 以甲烷计 ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ １０ 硫化氢 （ Ｈ ２ Ｓ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ １０ 水 （ Ｈ ２ Ｏ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ １０ １ 犌犅 ／ 犜 ２６２４９ — ２０１０ ４ 　 试验方法 ４ ． １ 　 检验规则 ４ ． １ ． １ 　 硒化氢产品应逐一检验并验收 。 当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时 ， 则判该 产品不合格 。 ４ ． １ ． ２ 　 硒化氢采样安全应符合 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 的相关规定 。 ４ ． ２ 　 硒化氢纯度 硒化氢纯度按式 （ １ ） 计算 ： Φ ＝ １００ － （ Φ １ ＋ Φ ２ ＋ Φ ３ ＋ Φ ４ ＋ Φ ５ ＋ Φ ６ ＋ Φ ７ ＋ Φ ８ ） × １０ － ４ ………………（ １ ） 　　 式中 ： Φ ——— 硒化氢纯度 （ 体积分数 ）， １０ －２ ； Φ １ ——— 氢含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ２ ——— 氧 ＋ 氩含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ３ ——— 氮含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ４ ——— 一氧化碳含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ５ ——— 二氧化碳含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ６ ——— 总烃含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ７ ——— 硫化氢含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ ； Φ ８ ——— 水含量 （ 体积分数 ）， １０ －６ 。 ４ ． ３ 　 放空 测定硒化氢中的杂质含量时 ， 应对放空的硒化氢试样进行处理 ， 推荐采用活性炭和稀碱溶液进行吸 收中和 。 ４ ． ４ 　 氢 、 氧 ＋ 氩 、 氮的测定 ４ ． ４ ． １ 　 氢 、 氧 ＋ 氩 、 氮的测定见附录 Ａ 。 ４ ． ４ ． ２ 　 允许采用其他等效的方法测定硒化氢中的氢 、 氧 ＋ 氩 、 氮含量 。 当对测定结果有异议时 ， 以本标 准 ４．４．１ 规定的方法为仲裁方法 。 ４ ． ５ 　 一氧化碳 、 二氧化碳 、 总烃 （ 以甲烷计 ） 的测定 按 ＧＢ ／ Ｔ８９８４ 规定并采用预切割技术测定硒化氢中的微量一氧化碳 、 二氧化碳和总烃含量 。 预分离柱 ： 长约 ２．５ｍ ， 内径 ２ｍｍ 的不锈钢管 ， 内装粒径为 ０．１８ｍｍ ～ ０．２５ｍｍ 的 ＰｏｒａｐａｋＱＳ ， 色谱柱在 １８０℃ 通载气活化约 ２ｈ 。 或其他等效色谱柱 。 允许采用其他等效的方法测定硒化氢中的微量一氧化碳 、 二氧化碳和总烃含量 。 当对测定结果有 异议时 ， 以 ＧＢ ／ Ｔ８９８４ 规定的方法为仲裁方法 。 气体标准样品 ： 组分含量 （ 体积分数 ） 为 １×１０ －６ ～ １０×１０ －６ ， 其平衡气为氦 。 ４ ． ６ 　 硫化氢含量的测定 ４ ． ６ ． １ 　 硫化氢的测定见附录 Ｂ 。 ４ ． ６ ． ２ 　 允许采用其他等效的方法测定硒化氢中的硫化氢含量 。 当对测定结果有异议时 ， 以本标准 ４．６．１ 规定的方法为仲裁方法 。 ４ ． ７ 　 水分含量的测定 按 ＧＢ ／ Ｔ５８３２．１ 执行 。 仪器检测限 ： ０．１×１０ －６ （ 体积分数 ）。 允许采用其他等效的方法测定硒化氢中水分含量 。 当对测定结果有异议时 ， 以 ＧＢ ／ Ｔ５８３２．１ 规定 的方法为仲裁方法 。 ２ 犌犅 ／ 犜 ２６２４９ — ２０１０ ５ 　 包装 、 标志 、 贮运及安全 ５ ． １ 　 包装 、 标志及贮运 ５ ． １ ． １ 　 硒化氢的充装及贮运应符合 《 气瓶安全监察规程 》 的相关规定 。 ５ ． １ ． ２ 　 包装硒化氢的气瓶应符合 ＧＢ５０９９ 、 ＧＢ ／ Ｔ１１６４０ 的规定 。 ５ ． １ ． ３ 　 推荐使用经过内表面处理的气瓶 。 推荐使用 ＣＧＡ３５０ 瓶阀 。 ５ ． １ ． ４ 　 应防止瓶口被污染和泄漏 。 ５ ． １ ． ５ 　 硒化氢的充装应符合 ＧＢ１４１９３ 的相关规定 。 ５ ． １ ． ６ 　 气瓶颜色标志应符合 ＧＢ７１４４ 的规定 。 ５ ． １ ． ７ 　 运输时 ， 硒化氢气瓶上应附有 ＧＢ１９０ 中指定的标志 。 ５ ． １ ． ８ 　 包装容器上应标明 “ 电子硒化氢 ” 字样 。 ５ ． １ ． ９ 　 瓶装硒化氢的最大充装量按式 （ ２ ） 计算 ； 犿 ＝ 犉 ｒ · Ｖ …………………………（ ２ ） 　　 式中 ： 犿 ——— 气瓶内硒化氢的质量 ， 单位为千克 （ ｋｇ ）； 犞 ——— 气瓶标明的内容积 ， 单位为升 （ Ｌ ）； 犉 ｒ ——— 硒化氢的充装系数 ， １．５ｋｇ ／ Ｌ 。 ５ ． １ ． １０ 　 硒化氢的充装量按实际称量的质量计 。 ５ ． １ ． １１ 　 硒化氢的保存期限按 ＧＢ ／ Ｔ２６５７１ 规定执行 。 ５ ． １ ． １２ 　 硒化氢出厂时应附有质量合格证 ， 其内容至少应包括 ： ——— 产品名称 ， 生产厂名称 ； ——— 生产日期或批号 ， 充装质量 （ ｋｇ ）； ——— 本标准号及技术指标 ， 检验员号 。 ５ ． １ ． １３ 　 硒化氢产品应存放在阴凉 、 干燥 、 通风的库房内 ， 严禁暴晒 ， 远离热源 。 ５ ． ２ 　 安全警示 ５ ． ２ ． １ 　 硒化氢在常温常压下为具有令人不愉快臭味的无色有毒气体 ， 在干燥空气中稳定 ， 于 １６０℃ 分 解成 Ｈ ２ 和 Ｓｅ ； 在潮湿空气中可分解成硒 ； 在空气中燃烧时发出青色火焰 ， 并生成 ＳｅＯ ２ 白色粉末 ； 如果 空气供给不充分 ， 则析出单体硒 ； 与硝酸激烈反应 ， 也和氧化物猛烈反应 ， 且有火灾及爆炸的危险 ； 与烷 基卤化物形成复盐 ； 能与橡胶中的硫磺作用使橡胶变质 ； 自催化性强 ， 一旦分解形成金属覆盖膜 ， 则急速 分解 ， 所以硒化氢的容器 、 管道的内表面应清洁平滑 ； 能溶于水 、 二硫化碳和光气 ； 溶于水形成水合物 ， 水 溶液呈弱酸性 ； 在水溶液中与硫磺反应生成硫化氢与硒 。 ５ ． ２ ． ２ 　 与硒化氢接触时 ，