国家标准网
书 书 书犐犆犛 77 . 040 犎 21 /G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A 犌犅 / 犜 26068 — 2018 /G21 /G22 GB / T26068 — 2010 /G21 /G22 /G23 /G21 /G24 /G25 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34 /G35 /G36 /G37 /G38 /G39 /G3A /G3B 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犮犪狉狉犻犲狉狉犲犮狅犿犫犻狀犪狋犻狅狀犾犻犳犲狋犻犿犲犻狀狊犻犾犻犮狅狀狑犪犳犲狉狊犪狀犱狊犻犾犻犮狅狀犻狀犵狅狋狊 — 犖狅狀犮狅狀狋犪犮狋犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳狆犺狅狋狅犮狅狀犱狌犮狋犻狏犻狋狔犱犲犮犪狔犫狔犿犻犮狉狅狑犪狏犲狉犲犳犾犲犮狋犪狀犮犲犿犲狋犺狅犱 2018  12  28 /G3C /G3D 2019  11  01 /G3E /G3F /G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32 /G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36 /G3C /G3D书 书 书/G21    /G22 /G21 /G22 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1   /G23 /G24 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2   /G25 /G23 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A 1 ………………………………………………………………………………………… 3   /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F 1 ……………………………………………………………………………………………… 4   /G30 /G31 /G32 /G33 2 ………………………………………………………………………………………………… 5   /G34 /G35 /G36 /G37 2 ………………………………………………………………………………………………… 6   /G38 /G39 /G3A /G3B 4 ………………………………………………………………………………………………… 7   /G3C /G3D 6 ……………………………………………………………………………………………………… 8   /G3E /G3F 6 ……………………………………………………………………………………………………… 9   /G40 /G3C /G41 /G42 7 ………………………………………………………………………………………………… 10   /G43 /G44 /G45 9 …………………………………………………………………………………………………… 11   /G3C /G46 /G47 /G48 9 ………………………………………………………………………………………………… /G49 /G4A A ( /G4B /G4C /G26 /G49 /G4A )   /G4D /G4E /G4F /G50 /G51 /G52 /G53 10 ………………………………………………………………… /G49 /G4A B ( /G4B /G4C /G26 /G49 /G4A )   /G4D /G4E /G4F /G50 /G51 /G54 /G55 /G56 /G57 11 …………………………………………………………… /G49 /G4A C ( /G4B /G4C /G26 /G49 /G4A )   /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G5D /G5E /G5F /G60 /G45 /G51 /G55 /G61 14 ………………………………………………… /G49 /G4A D ( /G4B /G4C /G26 /G49 /G4A )   /G62 /G63 /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G5D /G5E 17 …………………………………………………………… /G49 /G4A E ( /G4B /G4C /G26 /G49 /G4A )   /G40 /G3C /G64 /G5B /G5C /G5D /G5E 、 /G62 /G63 /G58 /G59 /G5A /G5D /G5E /G2D /G65 /G66 /G67 /G51 /G68 /G69 /G41 /G6A /G6B 19 ………………… /G49 /G4A F ( /G4B /G4C /G26 /G49 /G4A )   SEMIMF15351015 /G6C /G51 /G40 /G3C /G30 /G31 /G6D /G51 /G2D /G43 /G44 /G45 23 …………………………… /G6E /G6F /G29 /G70 24 …………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 犌犅 / 犜 26068 — 2018 /G23    /G24    /G71 /G72 /G73 /G74 /G75 GB / T1.1 — 2009 /G76 /G77 /G51 /G25 /G78 /G79 /G7A 。 /G71 /G72 /G73 /G7B /G7C GB / T26068 — 2010 《 /G7D /G7E /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G5D /G5E /G51 /G7F /G80 /G81 /G82 /G83 /G84 /G85 /G86 /G87 /G88 /G89 /G8A /G40 /G3C /G30 /G31 》。 /G71 /G72 /G73 /G5F GB / T26068 — 2010 /G54 /G8B , /G8C /G8D /G8E /G26 /G52 /G8F /G90 , /G91 /G92 /G93 /G2B /G94 /G95 /G96 /G97 : ——— /G98 /G72 /G73 /G99 /G9A 《 /G7D /G7E /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G5D /G5E /G51 /G7F /G80 /G81 /G82 /G83 /G84 /G85 /G86 /G87 /G88 /G89 /G8A /G40 /G3C /G30 /G31 》 /G8F /G9B 《 /G7D /G7E /G2D /G7D /G9C /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G5D /G5E /G51 /G40 /G3C   /G9D /G80 /G81 /G82 /G83 /G84 /G85 /G86 /G87 /G88 /G89 /G8A /G31 》; ——— /G9E /G9F /GA0 /GA1 /G28 /G82 /G83 /G84 /G85 /G86 /G87 /G88 /G89 /G8A /G31 /G40 /G3C /GA2 /GA3 /G7D /G9C /G2D /GA4 /GA5 /GA6 /GA3 /G7D /G7E 、 /G7D /G9C /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G5D /G5E /G51 /GA7 /GA8 ( /GA9 /GAA 1 /GAB 、 9.2 ); ——— /G98 /G23 /G24 /G6C /G40 /G3C /G3E /G3F /G51 /GAC /G60 /G87 /GAD /GAE /G97 /GAF /GB0 “ 0.05 Ω · cm ~ 1 Ω · cm ” /G8F /G9B “ 0.05 Ω · cm ~ 10 Ω · cm ”, /G58 /G59 /G5A /G5B /G5C /G5D /G5E /G51 /G40 /G3C /G23 /G24 /GB0 “ 0.25 μ s /GB1 > 1ms ” /G8F /G9B “ > 0.1 μ s ”, /GB2 /G8C /GA0 2010 /GB3 /GB4 /G51 1.3 ( /GA9 /GAA 1 /GAB , 2010 /GB3 /GB4 /G51 1.2 、 1.3 ); ——— /G25 /G23 /G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G6C /G9E /G9F /GA0 GB / T1551 , /GB2 /G8C /GA0 GB / T1552 、 SEMIMF1388 、 SEMIMF1530 , /GB2 /G8C /GA0 GB / T1553 — 2009 、 YS / T679 — 2008 /G6C /G51 /GB3 /G7B /GB5 , /G9E /G9F /GA0 GB / T11446.1 /G51 /GB3 /G7B /GB5 2013 ( /GA9 /GAA 2 /GAB , 2010 /GB3 /GB4 /G51 /GAA 2 /GAB ); ——— /G52 /G8F /GA0 /G2B /G2C /G4D /G4E /G4F /G50 、 /G5B /G5C /G5D /G5E 、 /GB6 /GB7 /G5B /G5C /GB8 /GAE 、 /G64 /G5B /G5C /G5D /G5E /G2D 1 / e /G5D /G5E /

.pdf文档 GB-T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

文档预览
中文文档 29 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 309 收藏 3.0分
温馨提示:本文档共29页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
GB-T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法 第 1 页 GB-T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法 第 2 页 GB-T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法 第 3 页
下载文档到电脑,方便使用
本文档由 人生无常 于 2025-07-13 02:01:44上传分享
友情链接
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们微信(点击查看客服),我们将及时删除相关资源。