书 书 书犐犆犛 ７１ ． １００ ． ２０ 犌 ８６ 中华人民共和国国家标准 犌犅 ／ 犜 １４６０４ — ２００９ 代替 ＧＢ ／ Ｔ１４６０４ — １９９３ 电子工业用气体 　 氧 犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔 — 犗狓狔犵犲狀 ２００９  １０  ３０ 发布 ２０１０  ０５  ０１ 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布书 书 书前 　　 言 　　 本标准代替 ＧＢ ／ Ｔ１４６０４ — １９９３ 《 电子工业用气体 　 氧 》。 本标准与 ＧＢ ／ Ｔ１４６０４ — １９９３ 相比主要变化如下 ： ——— 修改电子工业用氧的适用范围 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０４ — １９９３ 的第 １ 章 ， 本版的第 １ 章 ）； ——— 修改规范性引用文件 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０４ — １９９３ 的第 ２ 章 ， 本版的第 ２ 章 ）； ——— 修改技术指标内容 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０４ — １９９３ 的第 ３ 章 ， 本版的第 ３ 章 ）； ——— 修改瓶装电子工业用氧采样要求 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０４ — １９９３ 的 ４．１ ， 本版的 ４．１．３ ）； ——— 修改瓶装电子工业用氧抽样方法 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０４ — １９９３ 的第 ５ 章 ， 本版的 ４．１．１ 、 ４．１．２ 、 ４．１．４ ）； ——— 修改氢 、 氩 、 氮 、 氪 、 一氧化碳 、 二氧化碳 、 氧化亚氮 、 总烃和水含量的分析方法和标准样品的规 定 ， 当出现多种分析方法时 ， 规定仲裁方法 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０４ — １９９３ 的 ４．３ 、 ４．４ 、 ４．５ 、 ４．６ 、 ４．７ 、 ４．８ ， 本版的 ４．３ 、 ４．４ 、 ４．６ 、 ４．７ 、 ４．８ ）； ——— 增加一氧化氮含量的分析方法 （ 本版的 ４．５ ）； ——— 修改标志 、 包装 、 贮运及安全 （ ＧＢ ／ Ｔ１４６０４ — １９９３ 的第 ６ 章 、 第 ７ 章 ， 本版的第 ５ 章 ）； ——— 删去 ＧＢ ／ Ｔ１４６０４ — １９９３ 的附录 Ａ 和附录 Ｂ ； ——— 增加规范性附录 Ａ ， 并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用氧中的氢 、 氩 、 氮和氪组分 的方法写入该附录 （ 见附录 Ａ ）； ——— 增加规范性附录 Ｂ ， 并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用氧中的一氧化碳 、 二氧化碳 和氧化亚氮组分的方法写入该附录 （ 见附录 Ｂ ）。 本标准的附录 Ａ 、 附录 Ｂ 为规范性附录 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口 。 本标准起草单位 ： 中国计量科学研究院 、 西南化工研究设计院 。 本标准主要起草人 ： 周泽义 、 周鹏云 。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为 ： ——— ＧＢ ／ Ｔ１４６０４ — １９９３ 。 Ⅰ 犌犅 ／ 犜 １４６０４ — ２００９ 电子工业用气体 　 氧 １ 　 范围 本标准规定了电子工业用氧的技术要求 ， 试验方法以及包装 、 标志 、 贮运及安全 。 本标准适用于以深冷法 、 电解法提取的气态或液态氧 ， 以及经纯化方法得到的氧 。 它们主要用于二 氧化硅化学气相淀积 ， 用作氧化源和生产高纯水的反应剂 ， 用于等离子体蚀刻和剥离 、 光导纤维 。 分子式 ： Ｏ ２ 。 相对分子质量 ： ３１．９９８８ （ 按 ２００５ 年国际相对原子质量计算 ）。 ２ 　 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 。 凡是注日期的引用文件 ， 其随后所有 的修改单 （ 不包括勘误的内容 ） 或修订版均不适用于本标准 ， 然而 ， 鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本 。 凡是不注日期的引用文件 ， 其最新版本适用于本标准 。 ＧＢ１９０ 　 危险货物包装标志 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 　 工业用化学产品采样安全通则 ＧＢ ／ Ｔ３８６３ 　 工业氧 ＧＢ５０９９ 　 钢质无缝气瓶 （ ＧＢ５０９９ — １９９４ ， ｎｅｑＩＳＯ４７０５ ： １９９３ ） ＧＢ７１４４ 　 气瓶颜色标志 ＧＢ ／ Ｔ８９８４ 　 气体中一氧化碳 、 二氧化碳和碳氢化合物的测定 　 气相色谱法 ＧＢ１４１９４ 　 永久气体气瓶充装规定 ＧＢ ／ Ｔ１４６００ 　 电子工业用气体 　 氧化亚氮 ＧＢ１６９１２ 　 深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规范 ＪＢ ／ Ｔ５９０５ 　 真空多层绝热低温液体容器 ＪＢ ／ Ｔ６８９７ 　 低温液体运输车 ＪＢ ／ Ｔ６８９８ 　 低温液体贮运设备 　 使用安全规则 气瓶安全监察规程 压力容器安全技术监察规程 压力管道安全管理与监察规定 ３ 　 技术要求 电子工业用气体氧的质量应符合表 １ 的要求 。 表 １ 　 技术指标 项 　　 目 指 　　 标 氧 （ Ｏ ２ ） 纯度 ／ 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ≥ ９９．９９９８ ９９．９８ ９９．５ 氢 （ Ｈ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．１ １ １ 氩 （ Ａｒ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ １．０ １００ — 氮 （ Ｎ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．５ ３０ １００ 一氧化碳 （ ＣＯ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．１ １ — １ 犌犅 ／ 犜 １４６０４ — ２００９ 表 １ （ 续 ） 项 　　 目 指 　　 标 二氧化碳 （ ＣＯ ２ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．１ １ — 一氧化碳和二氧化碳含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ — — ５ 总烃含量 （ 以甲烷计 ）（ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．１ １ ２５ 一氧化氮 （ ＮＯ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ — １ — 氧化亚氮 （ Ｎ ２ Ｏ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ — — ２ 氪 （ Ｋｒ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ — １０ — 水 （ Ｈ ２ Ｏ ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ＜ ０．１ １ １ 总杂质 （ 包括稀有气体 ） 含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ≤ ２．０ １４７ ５０００ 颗粒 供需双方商定供需双方商定供需双方商定 　　 注 ： 质量保证期为 ３６ 个月 。 ４ 　 试验方法 ４ ． １ 　 抽样 、 判定和复验 ４ ． １ ． １ 　 瓶装 、 集装格装 、 大容积钢质无缝气瓶装和多层绝热低温容器装氧产品应逐一检验并验收 。 当 检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时 ， 则判该产品不合格 。 ４ ． １ ． ２ 　 对稳定生产的管道输送的氧由供需双方确定抽样频数 。 企业应确保管道输送的氧产品符合本 标准技术要求 。 ４ ． １ ． ３ 　 氧采样安全应符合 ＧＢ ／ Ｔ３７２３ 的相关规定 。 ４ ． １ ． ４ 　 液态氧的技术指标应气化后测定 。 ４ ． ２ 　 氧纯度 ／ 含量 ４ ． ２ ． １ 　 氧纯度的体积分数不低于 ９９．９８×１０ －２ 的按式 （ １ ） 计算 ： Φ ＝ １００ － （ Φ １ ＋ Φ ２ ＋ Φ ３ ＋ Φ ４ ＋ Φ ５ ＋ Φ ６ ＋ Φ ７ ＋ Φ ８ ＋ Φ ９ ＋ Φ １０ ） × １０ － ４ ………（ １ ） 　　 式中 ： Φ ——— 氧纯度 （ 体积分数 ）／ １０ －２ ； Φ １ ——— 氢含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ； Φ ２ ——— 氩含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ； Φ ３ ——— 氮含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ； Φ ４ ——— 一氧化碳含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ； Φ ５ ——— 二氧化碳含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ； Φ ６ ——— 总烃含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ； Φ ７ ——— 一氧化氮含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ； Φ ８ ——— 氧化亚氮含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ； Φ ９ ——— 氪含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ ； Φ １０ ——— 水含量 （ 体积分数 ）／ １０ －６ 。 ４ ． ２ ． ２ 　 氧含量的体积分数不低于 ９９．５×１０ －２ 的测定 按 ＧＢ ／ Ｔ３８６３ 中规定的方法进行测定 。 ４ ． ３ 　 氢 、 氩 、 氮和氪的测定 ４ ． ３ ． １ 　 氢 、 氩 、 氮和氪的测定见附录 Ａ 。 ４ ． ３ ． ２ 　 允许采用其他等效的方法测定氧中氢 、 氩 、 氮和氪含量 。 当测定结果有异议时 ， 以 ４．３．１ 规定的 ２ 犌犅 ／ 犜 １４６０４ — ２００９ 方法为仲裁方法 。 ４ ． ４ 　 一氧化碳 、 二氧化碳和氧化亚氮的测定 ４ ． ４ ． １ 　 一氧化碳 、 二氧化碳和氧化亚氮的测定见附录 Ｂ 。 ４ ． ４ ． ２ 　 允许采用其他等效的方法测定氧中一氧化碳 、 二氧化碳和氧化亚氮含量 。 当测定结果有异议 时 ， 以 ４．４．１ 规定的方法为仲裁方法 。 ４ ． ５ 　 一氧化氮的测定 按 ＧＢ ／ Ｔ１４６００ 规定的方法或其他等效的方法测定氧中的一氧化氮含量 。 当以上测定结果有异议 时 ， 以 ＧＢ ／ Ｔ１４６００ 规定的方法为仲裁方法 。 仪器检测限的体积分数 ： ０．１×１０ －６ 。 ４ ． ６ 　 总烃 （ 以